蔡司 Sigma 360 采用肖特基热场发射电子枪与 GEMINI 电子光学系统，兼具高分辨率成像与优异的低电压性能， 可清晰观察纳米级表面形貌；束流稳定性优于 0.2%/h，特别适合需要长时间连续采集的 EBSD 应用。
本机搭载牛津仪器 C-nano+ EBSD 探头与 Xplore 30 能谱仪，可在同一台设备上完成形貌观察（SEM）、 晶体取向与织构分析（EBSD）、元素成分分析（EDS）——形貌、结构、成分一次到位。
0.9 nm@15 kV，低电压下 1.3 nm@1 kV，纳米级细节清晰呈现
GEMINI 物镜无漏磁设计，纳米磁性材料同样可高分辨成像
束流稳定性优于 0.2%/h，大面积成像与批量取向采集稳定可靠
SEM + EBSD + EDS 三合一，形貌、取向、成分同机完成
| 设备型号 | 蔡司 ZEISS Sigma 360 场发射扫描电镜（德国） |
|---|---|
| 电子枪 | Schottky 热场发射电子枪，GEMINI 电子光学系统 |
| 二次电子分辨率 | 0.9 nm @15 kV，1.3 nm @1 kV |
| 加速电压 | 20 V – 30 kV，连续可调 |
| 放大倍数 | 10 – 1,000,000× |
| 束流稳定性 | 优于 0.2%/h |
| 样品台 | X 125 mm · Y 125 mm · Z 50 mm · 倾转 −10°~90° · 360° 旋转 |
| EBSD 探头 | 牛津仪器 C-nano+ |
| EDS 探头 | 牛津仪器 Xplore 30 能谱仪 |
| 探测器配置 | In-lens / SE2 / BSD，支持成分衬度与高景深立体成像 |
形貌、取向、成分一站式分析，制样 + 测试 + 数据处理全流程服务
