
赛默飞 Apreo 2S 采用高稳定度肖特基热场发射电子枪与复合物镜(静电透镜 + 无场磁透镜 + 浸没磁透镜)设计, 兼顾极高分辨率与大工作距离成像能力:15 kV 减速模式下二次电子分辨率达 0.5 nm, 工作距离 10 mm 处仍可保持 1.0 nm @1 kV 的高分辨表现,操作直观、成像稳定。
本机搭载牛津仪器 Symmetry 3(S3)EBSD 探头与 Xplore 30 能谱仪,EBSD 采集速度快、标定率高, 可在同一台设备上完成形貌观察(SEM)、晶体取向与织构分析(EBSD)、元素成分分析(EDS)—— 形貌、结构、成分一次到位,尤其适合大批量 EBSD 快速成像与磁性材料分析。
0.5 nm@15 kV(减速模式),低电压 0.9 nm@1 kV,最高 200 万倍放大
复合物镜完全无漏磁设计,磁性材料无需退磁即可直接观察
五轴电动台 110×110 mm、承重 5 kg,一次装载 18 个标准钉台批量测试
Symmetry 3 探头标定率高、采集快,大面积成像与批量取向分析稳定可靠
| 设备型号 | 赛默飞 Thermo Fisher Apreo 2S 场发射扫描电镜(美国) |
|---|---|
| 电子枪 | 高稳定度肖特基热场发射电子枪,自动烘烤 / 自动启动 |
| 二次电子分辨率 | 0.5 nm @15 kV(减速模式);0.9 nm @1 kV;0.7 nm @30 kV(STEM) |
| 着陆电压 | 20 V – 30 kV 连续可调(样品台偏压 −4,000 V ~ +600 V) |
| 放大倍数 | 20 – 2,000,000× |
| 束流范围 | 1 pA – 50 nA 连续可调 |
| 物镜系统 | 复合物镜(静电 + 无场磁透镜 + 浸没磁透镜),完全无漏磁 |
| 样品台 | 五轴电动马达台 · X/Y 110×110 mm · 倾转 −15°~+90° · 最大承重 5 kg(不倾转) |
| 样品仓 | 内宽 340 mm,12 个端口,可选低真空模式(10–500 Pa) |
| 标准样品座 | 一次可容纳 18 个标准钉台(φ12 mm),含 3 个预倾桩 |
| EBSD 探头 | 牛津仪器 Symmetry 3(S3) |
| EDS 探头 | 牛津仪器 Xplore 30 能谱仪 |
| 特色功能 | SmartAlign 自动对中、自动加热光阑、PivotBeam 选区电子通道衬度模式 |
形貌、取向、成分一站式分析,制样 + 测试 + 数据处理全流程服务
